MEMS流量传感器技术

2012年11月27日 13:14:35 人气: 675 来源: 矽翔微机电系统（上海）有限责任公司成都分公司

矽翔微机电系统有限公司具有自主知识产权的MEMS质量流量传感器技术能根据用户的需求提供的在线流量计量。传感器系采用矽翔微机电系统有限公司*的CMOS兼容MEMS工艺制造，保证其具有*的可靠性。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。
不同于其它MEMS传感技术，矽翔微机电系统有限公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过MEMS传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）。当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。
矽翔微机电系统有限公司的流量传感器可采用多种形式的封装，从而增加了其应用的广泛性。

关键词： MEMS,传感芯集传感器,稳定性,性

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